等离子体清洗是等离子体表面改性最常用的方法之一，等离子清洗机是一项高新技术，利用等离子体达到传统清洗方法无法达到的效果。等离子清洗机采用气体作为清洗介质，可有效避免液体清洗介质造成的二次污染。等离子清洗机在使用气体时施加足够的能量，使其电离成等离子体状态。等离子体是物质的一种存在状态，通常存在三种状态：固态、液态和气态。

　　然而，在电离层的某些特殊情况下，在电离层的某些情况下。在等离子体状态下，有以下物质：高速运动的电子;处于活动状态的中性原子、分子和原子团簇;电离的原子和分子;未反应的分子和原子等，但物质总体上保持电中性。等离子体中的“活性”成分包括离子、电子、活性基团、激发核素、光子等，等离子体清洗机就是利用这些活性成分的性质对样品表面进行处理，从而达到清洗、改性、涂布、光刻胶灰化等目的。

　　去除的污染物可能是有机物、环氧树脂、光刻胶、氧化物、微粒污染物等。实际上，等离子清洗机通过对样品进行表面改性，同时去除表面有机物，使各种材料可以进行粘接、涂布、涂布等工艺操作。广泛应用于光学、光电子、电子、材料科学、生命科学、高分子科学、生物医学、微流体等领域。

　　等离子清洗机与真空泵相连。工作时，清洗室内的等离子清洗待清洗物体的表面。经过短时间的清洗，有机污染物可被彻底清除。同时，污染物被真空泵抽走，净化程度达到分子水平。等离子清洗机除具有超强清洗功能外，还可以在特定条件下根据需要改变某些材料的表面性能。

　　等离子体作用于材料表面，使表面分子的化学键重新结合，形成新的表面特征。对于某些特殊材料，等离子清洗机的辉光放电不仅提高了材料的附着力、相容性和润湿性，而且对其进行了消毒。