等离子清洁机又称等离子清洗机，又称等离子表面处理仪，是一项高新技术，利用等离子体达到传统清洗方法无法达到的效果。等离子体是物质的一种状态，也称为物质的第四种状态，它不属于常见的固体、液体和气体三种状态。

　　当气体以足够的能量电离时，就会出现等离子体状态。等离子体中的“活性”成分包括：离子、电子、原子、活性基团、激发核素(亚稳态)、光子等。等离子体清洗机就是利用这些活性组分的性质对样品表面进行处理，然后完成清洗、涂层等目的。等离子体产生条件：反应气体和反应压力满足。

　　反应产物必须能高速撞击清洗物体表面，并有满意的能量供应。反应后产生的物质必须是挥发性的精细组合，以便于真空泵将其抽走。泵的容量和转速必须满足大的要求，这样才能迅速排出反应副产物，并需要快速补充反应所需的气体。

　　为什么等离子清洗机有臭味?答案是：臭氧。等离子体放电过程中产生臭氧的基本原理是低温等离子体大气中的含氧气体在放电反应器中形成，氧分子被具有一定能量的自由电子分裂成氧原子，臭氧分子之间也发生了碰撞反应。臭氧，其化学式为O3，又称为三氧和超氧物。

　　因其腥味而得名，在室温下可还原为氧气。它比氧的比重大，溶于水，易于鉴别。因为臭氧是由氧分子和一个氧原子组成的，它只是一种暂时的状态。除了被氧化消耗外，剩余的氧原子被结合成稳定状态，因此不会对臭氧造成二次污染。如果我们通过含氧气体，那么在反应过程中会发生少量的臭氧，正是因为臭氧的出现，所以我们在使用等离子清洗机时有时会闻到一股异味，这就是为什么等离子清洗定时会有异味。