首页应用案例

当前位置:首页>首页应用案例
半导体芯片、真空镀膜应用
  • 作者:sino-fluorine
  • 发布时间:2020-09-04
  • 浏览次数:3836
  • 来源:3M.com
  • 分享:

苏威25/6真空泵油(型号FOMBLIN Y LVAC 25/6或DRYNERT 25/6)作为全氟聚醚(PFPE)类高性能润滑剂,具有以下显著优点:

1. 卓越的化学稳定性与惰性

  • 对强酸、强碱、腐蚀性气体(如氟气、SiH₄、PH₃等)及氧化/还原剂表现出高度惰性,几乎不与化学物质反应,尤其适用于半导体工业中需接触特种气体的严苛环境。

  • 与金属、塑料、弹性体、橡胶等材料兼容性好,避免因材料腐蚀导致的设备损坏。

2. 优异的热稳定性与低蒸汽压

  • 在高温(如200°C)下仍保持稳定,蒸发热为7 cal/g,蒸发率极低(149°C下22小时蒸发损失仅0.6%),确保高温环境下真空度稳定。

  • 极低蒸汽压(25°C时为6×10⁻⁸ torr,100°C时为6×10⁻⁵ torr),减少油蒸气逆流污染,适用于高真空系统。

3. 出色的润滑性能

  • 在宽温度范围和高负载条件下仍能有效润滑,减少机械磨损,延长真空泵使用寿命。

  • 低表面张力(20°C时为22 dyne/cm)和高粘度指数(113),提升泵的抽速和真空效率。

4. 安全性高

  • 无闪点、燃点,不可燃,避免火灾隐患,符合半导体等高危行业的安全标准。

  • 低毒性且无臭氧消耗风险,对人体健康和环境友好。

5. 环境适应性与稳定性

  • 耐辐射和光照,适用于核能、电子等特殊场景。

  • 宽工作温度范围(-35°C至200°C以上),倾点低至-35°C,适应极端气候。

6. 应用领域广泛

  • 专为单级/双级旋片泵、罗茨泵、螺杆泵设计。

  • 在半导体芯片加工、真空镀膜、化工等对洁净度和可靠性要求高的领域表现优异。

技术参数补充

  • 密度1.90 g/cm³(20°C),运动粘度278 CST(20°C),介电性能优异,适合电气应用。

  • 抗乳化性和抗溶剂性突出,减少油品劣化和维护频率。

综上,苏威25/6真空泵油凭借其全氟聚醚分子结构的独特优势,在严苛工业环境中提供了长效、安全、稳定的润滑与密封解决方案。


【本文标签】: 溶剂清洗蒸汽除油
×

请提供您的用氟需求,我们会第一时间安排专人为您提供专业的用氟解决方案!

扫一扫 立即咨询