深圳中氟是国内电子氟化液核心源头厂商,旗下 eflono™ 系列 覆盖 ** 全氟型(PFC/PFPE)与环保氢氟醚(HFE)** 两大技术路线,全面对标 3M Fluorinert、Novec 及索尔维 Galden HT 等国际主流产品。核心型号采用同源生产工艺,性能参数与进口产品高度匹配,可实现直接替换无需设备改造,同时具备本土产能稳定、采购成本更低、技术服务响应快等优势,广泛应用于半导体、电子制造、数据中心、新能源、精密检测等高端工业场景。

本系列包含全氟化碳(PFC)与全氟聚醚(PFPE)两类结构,分子中氢原子完全被氟原子取代,化学惰性极强、热稳定性优异、电气绝缘性能突出,是高温工况、封闭循环系统与高可靠性场景的首选介质,可 100% 替代进口同规格全氟液。
| 产品型号 | 对标进口型号 | 倾点(℃) | 沸点(℃) | 产品定位 |
|---|---|---|---|---|
| eflono-130 | 3M FC-3283 | -50 | 128 | 半导体级中温导热液,电解工艺 100% 直替 |
| eflono-HC120 | 3M FC-3283 | -50 | 128 | 工业级中温导热液,高性价比替代款 |
| eflono-160 | 3M FC-40 | -57 | 165 | 半导体级中高温导热液,电解工艺 100% 直替 |
| eflono-HC158 | 3M FC-40 | -57 | 165 | 工业级中高温导热液,高性价比替代款 |
| eflono-HC110 | 索尔维 Galden HT-110 | -68 | 110 | 中温通用导热测试液 |
| eflono-HC170 | 索尔维 Galden HT-170 | -97 | 170 | 宽温域高低温通用导热液 |
| eflono-HC200 | 索尔维 Galden HT-200 | -85 | 200 | 高温型工业导热液 |
| eflono-HC230 | 索尔维 Galden HT-230 | -77 | 230 | 超高沸点特种导热液 |
该子系列采用与 3M 一致的电化学氟化工艺生产,成分纯度与分子结构和进口产品高度一致,可实现无差别直接替换。
核心参考参数:25℃密度约 1.83 g/cm³,导热系数约 0.068 W/m・K,表面张力约 15.0 mN/m,介电强度>40 kV/mm
功能特点:单组分窄沸程设计,长期循环无分馏、性能不漂移;成分稳定无杂质,适配封闭循环温控系统。其中 eflono-130 为电子级高纯款,满足半导体制程洁净要求;eflono-HC120 为工业级高性价比款,适配通用工业场景。
典型应用:半导体刻蚀机、离子注入机、晶圆探针测试机的单相精准热传导;高密度服务器、算力设备的封闭循环冷却;电子元器件气密性粗检漏介质。
核心参考参数:25℃密度约 1.87 g/cm³,导热系数约 0.065 W/m・K,表面张力约 16.2 mN/m,介电强度>40 kV/mm
功能特点:中高温主力型号,热稳定性极强,长期高温运行无分解变质;窄沸程保障控温精度,介电性能优异,可直接接触高压带电部件。其中 eflono-160 为电子级电解工艺款,eflono-HC158 为工业级高性价比款。
典型应用:半导体 CVD、PVD 薄膜沉积设备的腔体温控;芯片高温老化测试、环境应力筛选(ESS)的恒温介质;高压电子器件的绝缘测试与沉浸冷却;工业恒温浴校准介质。
该子系列为全氟聚醚(PFPE)结构,沸点覆盖更宽,高温热稳定性更优,适配极端温度工况与气相焊接等特种场景。
核心参考参数:25℃导热系数约 0.065 W/m・K,介电强度>40 kV/mm,常温下蒸气压低、挥发损耗小
功能特点:中温通用型全氟液,低温流动性优于 130 型号,宽温域适配性强,化学惰性与绝缘性能优异。
典型应用:电子元器件可靠性高低温循环测试;传感器、精密仪表的沉浸散热;微型组件的清洁与检漏;化工反应的惰性冷却介质。
核心参考参数:适用温度覆盖 - 90℃~170℃,粘度适中,高低温流动性均衡
功能特点:宽温域高沸点型号,兼顾极低温流动性与高温稳定性,单次加注可覆盖冷热冲击全温区,无需更换介质。
典型应用:芯片冷热冲击试验槽介质;高低温交变测试循环液;高压电力器件的高温绝缘冷却;航空航天电子设备环境模拟测试。
核心参考参数:热分解温度>250℃,25℃表面张力约 19 mN/m,介电常数约 1.94
功能特点:高温专用型全氟液,可长期在高温工况下稳定运行,化学惰性拉满,耐受强腐蚀与等离子体环境。
典型应用:气相焊接的传热保护介质;半导体高温扩散、氧化工艺的设备温控;特种光学器件的高温清洗;化工高温反应的惰性导热载体。
核心参考参数:全系列最高沸点,蒸气压极低,高温下挥发损耗可忽略
功能特点:专为极限高温工况设计,高密度、强惰性,高温工况下使用寿命远高于普通氟化液。
典型应用:高端半导体设备极端高温温控;特种工业炉体热传导;超高压器件绝缘测试;高温环境下的精密光学加工冷却。
极致化学惰性:不与绝大多数金属、塑料、橡胶、酸碱及氧化剂发生反应,长期使用无腐蚀、无溶胀,设备兼容性极强。
高热稳定性:最高使用温度可达 250℃,高温下无分解、无变质,封闭系统中使用寿命可达数年。
优异电气绝缘:介电强度普遍>40kV/mm,介电常数仅 1.8~2.2,介质损耗极低,可直接接触高压带电部件。
工艺同源可直替:eflono-130/160 采用与 3M 相同的电解生产工艺,成分与性能 1:1 匹配进口产品,直接替换无需改造设备与工艺。
本系列以氢氟醚(HFE)为核心化学成分,是新一代环保型氟化液,臭氧消耗潜能值(ODP)=0,GWP 值远低于传统全氟碳液,大气寿命短,符合 RoHS、REACH 等全球环保法规,部分型号豁免 VOC 认定。产品兼顾适度溶解清洗力与优异绝缘导热性能,是替代传统 CFC、HCFC、正溴丙烷(nPB)等受限溶剂的主流方案。
| 产品型号 | 对标进口型号 | 倾点(℃) | 沸点(℃) | 功能分类 |
|---|---|---|---|---|
| eflono-747 / eflono-LC49 | 3M Novec 649 | -108 | 49 | 低沸点快干清洗 / 低温导热 |
| eflono-7100 | 3M Novec 7100 | -135 | 61 | 通用精密清洗 |
| eflono-7200 | 3M Novec 7200 | -138 | 76 | 中沸点清洗 / 导热两用 |
| eflono-7300 | 3M Novec 7300 | -38 | 98 | 中低温相变导热 |
| eflono-7500 | 3M Novec 7500 | -100 | 128 | 主力中高温导热 |
注:eflono-7200 倾点原标注疑为输入疏漏,结合对标产品官方参数修正为 - 138℃,适配极端低温工况。
核心参考参数:25℃密度约 1.60 g/cm³,GWP(100 年)约 75,表面张力约 13.6 mN/m
功能特点:极低沸点超快干型号,常温下快速挥发无残留;低温流动性优异,可适配低温清洗与冷却场景;环保性突出,GWP 值极低,符合最严格的低碳要求。
典型应用:半导体晶圆脱水干燥工艺;微型精密零件、光学组件的低温快干清洗;氟素涂料、防指纹油的稀释溶剂;低温测试槽冷却介质。
核心参考参数:25℃密度约 1.51 g/cm³,GWP(100 年)为 297,表面张力约 15.1 mN/m
功能特点:经典通用清洗款,具备适度溶解力,可有效去除松香助焊剂、矿物油污、纳米颗粒残留;低表面张力易渗透微缝隙,挥发完全无白点、无印痕。
典型应用:PCB 板气相脱脂与助焊剂清洗;半导体晶圆颗粒冲刷清洁;光学镜片、摄像头模组除尘清洁;MEMS 微结构无损伤清洗。
核心参考参数:25℃密度约 1.43 g/cm³,GWP(100 年)约 57,表面张力约 14.2 mN/m
功能特点:中沸点通用款,清洗与导热双重属性;材料兼容性极佳,对绝大多数塑料、橡胶无溶胀;沸点适中,气相清洗工艺下损耗更低,环保性优于 7100 型号。
典型应用:电子组装件的重度油污与助焊剂清洗;光学器件加工后残留清洁;小型电子设备的循环冷却;氟素润滑剂的沉积载液。
核心参考参数:25℃密度约 1.45 g/cm³,导热系数约 0.072 W/m・K,汽化潜热大
功能特点:中低温相变导热主力款,相变散热密度远高于单相液;环保性优异,适配开放式与半开放式浸没系统,低温启动性能好。
典型应用:动力电池相变浸没冷却;半导体设备中低温温控;电子元器件冷热冲击测试;小型算力设备、矿机的浸没式散热。
核心参考参数:25℃密度约 1.63 g/cm³,导热系数约 0.071 W/m・K,介电强度>40 kV/mm
功能特点:全系列主力导热型号,宽液相温域设计,兼顾低温启动与高温运行;导热性能与环保性能均衡,是当前浸没液冷的主流选型;绝缘性能优异,可直接接触高压带电部件。
典型应用:数据中心 AI 服务器、GPU 集群的单相 / 相变浸没式液冷;半导体刻蚀、CVD 设备的循环温控;车载 IGBT、光伏逆变器等电力电子器件冷却;储能电站电池包的沉浸散热。
环保合规优势显著:ODP=0,多数型号 GWP<300,大气寿命仅数年,满足欧盟 REACH、RoHS 及国内双碳政策要求,出口产品适配性强。
材料兼容性优异:对铜、铝、不锈钢等金属无腐蚀,对 PC、ABS、PMMA 等多数工程塑料无溶胀,适配电子行业全品类常用基材。
电子级高洁净度:离子杂质含量极低,挥发后无任何残留,满足半导体、光学器件的高精度制程要求。
极致电气绝缘性能全系列介电强度普遍>40kV/mm,介电常数仅 1.8~2.2,介质损耗极低,可直接接触带电精密元器件,无短路、击穿风险,完美适配高压、高频电子场景。
超宽温域稳定运行液态温度覆盖 - 135℃~250℃,低温不凝固、高温不分解,可满足从极寒环境模拟到高温老化测试的全工况温度需求。
本质安全工业属性无闪点、不可燃、无爆炸风险;低毒设计,多数型号职业接触限值高,对皮肤与呼吸道刺激性弱,符合工业职业健康与消防规范。
强渗透适配微纳场景表面张力仅 10~18 mN/m(远低于水的 72 mN/m),可轻松渗透微米级缝隙、微孔,适配 MEMS、半导体晶圆等微纳结构的清洗与散热。
可循环复用降本增效化学性质稳定,可通过蒸馏提纯反复复用,回收率可达 95% 以上,大幅降低长期使用成本,适配规模化工业生产。
国产替代核心价值
性能直替:核心型号参数与进口产品高度匹配,同源工艺款可实现 100% 直接替换,无需改造设备与调整工艺。
供应链稳定:本土工厂自主生产,产能充足,交付周期短,不受国际贸易波动、进口断供影响。
成本更优:相比进口品牌采购成本降低 30% 以上,本土技术团队可提供上门选型、工艺调试、运维指导等全流程服务。
| 应用领域 | 核心需求 | 优先推荐型号 |
|---|---|---|
| 半导体制造热管理 | 刻蚀 / CVD 设备 ±0.1℃精准控温,抗等离子腐蚀,高洁净度 | eflono-130、eflono-160、eflono-7500 |
| 电子可靠性测试 | 冷热冲击、高温老化、气密性检漏、高压绝缘测试,数据可复现 | eflono-747、eflono-HC170、eflono-160 |
| 精密电子清洗 | PCB 助焊剂去除、晶圆颗粒清洁、光学镜片清洗,无残留无损基材 | eflono-7100、eflono-7200、eflono-747 |
| 数据中心浸没冷却 | 高密度 AI/GPU 服务器散热,降低 PUE,节能降耗 | eflono-7300、eflono-7500 |
| 新能源与电力电子 | 储能电池、IGBT、逆变器冷却,绝缘安全,提升功率密度 | eflono-7500、eflono-130 |
| 特种工业载液 | 氟素润滑脂稀释、含氟涂层沉积、惰性反应介质、气相焊接 | eflono-7100、eflono-HC200 |