BASF Ethylene Glycol (Electronic Grade) EL 是巴斯夫生产的电子级乙二醇无氟清洗冷却液，专用于半导体、显示面板等高精度电子制造工艺中的清洗、蚀刻或光刻胶剥离环节。BASF乙二醇（电子级）EL是一种高纯度电子级乙二醇，专为半导体和电子工业应用而设计。BASF作为全球领先的化工企业，其电子级化学品系列满足严格的纯度要求，适用于对杂质极度敏感的电子制造工艺。
参数 | 数值 |
化学名称 | 乙二醇 / Ethylene Glycol / 1,2-乙二醇 |
分子式 | C₂H₆O₂ / HO-CH₂-CH₂-OH |
CAS号 | 107-21-1 |
分子量 | 62.07 g/mol |
外观 | 无色透明液体 |
气味 | 几乎无味 |
参数 | 数值 |
熔点 | -13°C |
沸点 | 197.4°C (1,013 hPa) |
闪点 | 111°C |
自燃温度 | 398°C |
密度 | 1.11 g/cm³ (20°C) |
相对密度 | 1.11 (20°C) |
粘度（动态） | 16.1 mPa·s (25°C) |
蒸气压 | 0.123 hPa (25°C) |
pH值 | ~5.0 (500 g/kg, 20°C) |
水溶性 | 与水完全混溶 |
Log Kow | 约 -1.36 (25°C) |
核心信息
- 产品定位：高纯度溶剂，属于电子化学品（Electronic Chemicals），非普通工业级或防冻液原料。
- 关键特性：通过特殊纯化工艺去除金属离子（如 Na⁺、K⁺、Fe³⁺等）和微粒，确保在纳米级制程中不造成污染或短路风险。
- 型号含义："EL"通常为巴斯夫内部特定纯度等级或包装规格的代码，具体技术指标需以官方技术数据表（TDS）为准。
- 主要应用：晶圆清洗、LCD/OLED 面板制造、光伏电池生产等对杂质极度敏感的领域。
1、超高纯度
主含量 ≥99.5-99.9%
痕量杂质以ppb（十亿分之一）级别控制
水分含量极低（通常<0.2%）
2、低金属离子含量
钠、钾、钙、镁、铁、铜等金属离子含量严格控制
满足SEMI（半导体设备与材料国际协会）标准
3、低颗粒物
颗粒控制达到电子级要求
适用于精密清洗工艺
4、优异的溶剂性能
高沸点、低挥发性
良好的极性溶剂特性
强吸湿性（需密封保存）
应用领域 | 具体用途 |
半导体制造 | 晶圆清洗、光刻胶剥离、蚀刻后清洗 |
高纯度冷却系统 | 电子设备和半导体制程中的冷却液 |
电子元件清洗 | PCB清洗、精密电子部件清洗 |
显示器制造 | LCD/OLED面板制造过程中的清洗和工艺溶剂 |
光伏产业 | 太阳能电池制造中的清洗和工艺应用 |
LED制造 | 芯片清洗和封装工艺 |
对比项 | 电子级 (Electronic Grade) | 工业级 (Industrial Grade) |
纯度 | ≥99.5-99.9%，痕量杂质ppb级 | ≥99.5%，杂质ppm级 |
金属离子 | <1-10 ppb | <1-10 ppm |
颗粒物 | 严格控制，符合SEMI标准 | 一般控制 |
水分 | <0.1-0.2% | <0.5% |
包装 | 洁净室包装，特殊容器 | 标准工业包装 |
应用 | 半导体、电子精密制造 | 聚酯、防冻液、一般工业 |
使用方法：
直接使用：作为清洗剂、溶剂或冷却液组分直接使用
稀释使用：根据工艺要求用超纯水稀释至所需浓度
配制冷却液：与超纯水及抑制剂配制成电子级冷却液
安全操作：
个人防护：佩戴化学防护手套（丁腈橡胶≥0.4mm）、护目镜、防护服
通风要求：确保良好通风，避免吸入蒸气或气溶胶
操作禁忌：避免与强氧化剂、碱金属、醛类、铝化合物接触
储存条件：
温度：<40°C，建议室温储存
环境：阴凉、干燥、避光、密封保存
包装：保持容器密闭，防止吸湿
储存期限：通常为12个月（未开封）
H302 - 吞食有害
H373 - 长期或反复接触可能对肾脏造成损害
P260 - 不要吸入蒸气/气溶胶
P270 - 使用本产品时不得进食、饮水或吸烟
安全警示：虽为高纯溶剂，乙二醇仍具一定毒性，操作时需遵循 MSDS/SDS 规范，佩戴防护装备。
电子级乙二醇通常提供以下包装：
· 小包装：1加仑/4升塑料瓶（洁净室级）
· 中包装：200-230kg桶装
· 大包装：1,000-1,100kg IBC吨桶
· 散装：槽车或柔性罐（24吨）
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